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一种基于机器视觉的微纳米缺陷检测装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201810341863.3
IPC分类号：G01N21/88G01N21/95
申请日期：
2018-04-17
申请人：
苏州富鑫林光电科技有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种基于机器视觉的微纳米缺陷检测装置
申请号	CN201810341863.3	申请日期	2018-04-17
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2018-11-06	公开/公告号	CN108760746A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/88 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕	IPC分类号	G01N21/88;G01N21/95查看分类表>
申请人	苏州富鑫林光电科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市工业园区星湖街328号创意产业园8幢9*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州富鑫林光电科技有限公司	当前权利人	苏州富鑫林光电科技有限公司
发明人	许照林
代理机构	苏州创元专利商标事务所有限公司	代理人	范晴

摘要

本发明公开了一种基于机器视觉的微纳米缺陷检测装置，包括：微纳米光学成像系统，用于微纳米缺陷成像；实时聚焦系统，用于缺陷成像系统的实时聚焦；自适应复杂背景图像处理系统，用于图像处理和缺陷标定；高精度抗干扰机构平台，用于系统机构支撑和功能实现。本发明的基于机器视觉的微纳米缺陷检测装置，采用微纳米检测技术，实现微纳米级检测技术及其相应系统，可大幅度提高产品制造过程中精度和制程良率。微纳米视觉检测设备的研制，可填补国内纳米级检测设备空白。

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