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用于晶体管电流及电压测试的测试设备

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201320307143.8
  • IPC分类号:G01R19/00
  • 申请日期:
    2013-05-30
  • 申请人:
    京东方科技集团股份有限公司
著录项信息
专利名称用于晶体管电流及电压测试的测试设备
申请号CN201320307143.8申请日期2013-05-30
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01R19/00IPC分类号G;0;1;R;1;9;/;0;0查看分类表>
申请人京东方科技集团股份有限公司申请人地址
北京市朝阳区酒仙桥路10号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人京东方科技集团股份有限公司当前权利人京东方科技集团股份有限公司
发明人张玉军
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司代理人许静;黄灿
摘要
本实用新型提供一种用于晶体管电流及电压测试的测试设备,其中,所述测试设备包括:光源本体;用于利用所述光源本体所发出光线获取待测位置的图像采集装置,所述图像采集装置包括图像采集镜头;位置可调节的探针,对所述待测位置进行电流及电压测试时,所述探针位于所述待测位置处;用于生成单波段光线来照射所述探针以进行晶体管电流及电压测试的分光计,所述分光计连接有出光光纤,所述出光光纤的光纤镜头与所述图像采集镜头保持固定距离。所述测试设备能够实现薄膜晶体管TFT在单色、单波段光线照射下的光电流测试。

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