静电键合设备及静电键合产生的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201610597631.5
IPC分类号：B81C3/00
申请日期：
2016-07-26
申请人：
中国科学院声学研究所

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法律信息

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著录项信息

专利名称	静电键合设备及静电键合产生的方法
申请号	CN201610597631.5	申请日期	2016-07-26
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2016-11-09	公开/公告号	CN106082117A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81C3/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81C 专门适用于制造或处理微观结构装置或系统的方法或设备（制造微胶囊或微球入B01J13/02；专门适用于制造或处理压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件的方法或设备本身入H01L41/22）〔7〕 B81C3/00 从单独处理过的部件组装装置或系统〔7〕	IPC分类号	B;8;1;C;3;/;0;0查看分类表>
申请人	中国科学院声学研究所	申请人地址	北京市海淀区北四环西路21号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院声学研究所	当前权利人	中国科学院声学研究所
发明人	汤亮;张忠山;季磊;支萌辉;齐敏;孙泉;乔东海;张倩
代理机构	北京亿腾知识产权代理事务所	代理人	陈霁

摘要

本发明涉及一种静电键合设备及静电键合产生的方法，该设备包括手套箱设备(0000)和静电键合发生设备(1000)，静电键合发生设备(1000)内部设置有静电键合室，手套箱设备(0000)内部设置有手套箱；静电键合室与手套箱之间设立连接通道(0002)，连接通道(0002)用于实现操作对象的内部转移。本发明利用连接通道使手套箱和静电键合室连接在一起，保证了整个操作环境的洁净度，保证了操作环境与氧气、水汽隔绝，避免了厌氧、怕水汽的对象在操运过程中接触氧气和水汽的问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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