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光学处理设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010151249.8
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2020-03-06
  • 申请人:
    三星显示有限公司
著录项信息
专利名称光学处理设备
申请号CN202010151249.8申请日期2020-03-06
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2020-11-10公开/公告号CN111913360A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人三星显示有限公司申请人地址
韩国京畿道龙仁市 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三星显示有限公司当前权利人三星显示有限公司
发明人铃木俊成;延圣珍;韩京熙;明承镐
代理机构北京钲霖知识产权代理有限公司代理人李英艳;李志新
摘要
本公开涉及一种光学处理设备,所述光学处理设备包括:腔室,平台设置在所述腔室中以保持基底;支撑件,位于所述腔室下方;腔室窗口,连接到所述支撑件并允许光穿过所述腔室窗口;以及缓冲部,连接到所述腔室的下部并连接到所述腔室窗口。在所述缓冲部中限定的通路与所述腔室窗口和第一开口重叠,所述第一开口限定在所述腔室的所述下部中。

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