一种真空内电加热喷淋头结构

发明专利有效专利

申请号：
CN202110403470.2
IPC分类号：C23C14/22;C23C16/455
申请日期：
2021-04-14
申请人：
拓荆科技股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种真空内电加热喷淋头结构
申请号	CN202110403470.2	申请日期	2021-04-14
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-13	公开/公告号	CN113249687A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/22 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;2;2;;;C;2;3;C;1;6;/;4;5;5查看分类表>
申请人	拓荆科技股份有限公司	申请人地址	辽宁省沈阳市浑南区水家900号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	拓荆科技股份有限公司	当前权利人	拓荆科技股份有限公司
发明人	刘春;谈太德
代理机构	沈阳维特专利商标事务所（普通合伙）	代理人	李娜

摘要

本发明属于真空镀膜设备技术领域，具体提供了一种真空内电加热喷淋头结构，包括喷淋顶板，所述的喷淋顶板内设有可供介质循环的通道；所述的喷淋顶板上设有喷淋气体入口；喷淋顶板与腔体外壳连接处设有一圈密封条；喷淋板，与喷淋顶板连接且具有凹进部，上设有多个喷淋通孔。加热环，设置在喷淋板与喷淋顶板连接处，设置方式包括嵌入设置在喷淋板内；阻热环，设置在加热环与喷淋顶板之间，与喷淋顶板连接。可实现真空腔体内对喷淋板的高温加热，通过结构优化调整热阻后喷淋板温度可达到300℃，同时减少通过喷淋顶板对外部的热损失，保障了其温度波动≤±5℃。同时保障外部大气侧空间温度符合生产规范。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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