钝化层压点腐蚀溶液

发明专利无效专利

申请号：
CN00121546.9
IPC分类号：--
申请日期：
2000-08-11
申请人：
中国航天科技集团公司第九研究院七七一研究所

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	钝化层压点腐蚀溶液
申请号	CN00121546.9	申请日期	2000-08-11
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2001-01-24	公开/公告号	CN1281062
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中国航天科技集团公司第九研究院七七一研究所	申请人地址	陕西省西安市太乙路8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国航天科技集团公司第九研究院七七一研究所	当前权利人	中国航天科技集团公司第九研究院七七一研究所
发明人	刘振芳
代理机构	航空航天专利科技中心	代理人	安丽

摘要

钝化层压点腐蚀溶液，包含有浓度为38%-42%的氟化铵溶液、浓度96%-99.5%的冰醋酸、浓度95%-99.5%的丙三醇及去离子水(DI水)，配比关系为(体积比)：氟化铵∶冰醋酸∶丙三醇∶DI水为0.8-1∶0.8-1∶0.1-0.3∶0.1-0.3。本发明克服了压点发黄发黑的缺点，得到了光滑光亮的压点，其腐蚀合格率大大提高。经过一年2万多4英寸硅片的使用，压点腐蚀合格率大超出预料，节约了原材料，加快工艺周期，该溶液已完全在科研及生产中使用。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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