MEMS气体流量检测芯片以及智能气体流量仪表

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专利名称	MEMS气体流量检测芯片以及智能气体流量仪表
申请号	CN202020385451.2	申请日期	2020-03-24
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01F1/68 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01F 容积、流量、质量流量或液位的测量；按容积进行测量〔2，5〕 G01F1/00 测量连续通过仪表的流体或流动固体材料的流量或质量流量（测量流量比例入G01F 5/00）〔2〕 G01F1/68 应用热效应〔2〕	IPC分类号	G;0;1;F;1;/;6;8;;;G;0;1;D;2;1;/;0;2;;;B;8;1;B;7;/;0;2查看分类表>
申请人	苏州敏芯微电子技术股份有限公司	申请人地址	江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号纳米城NW-09楼501室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州敏芯微电子技术股份有限公司	当前权利人	苏州敏芯微电子技术股份有限公司
发明人	肖素艳
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	孟金喆

摘要

本实用新型实施例公开了一种MEMS气体流量检测芯片以及智能气体流量仪表，该MEMS气体流量检测芯片包括：基底；流量传感器以及至少一个环境参数传感器集成在所述基底的正面。本实用新型实施例提供的技术方案，实现了通过单颗芯片完成流量以及多种环境参数的测量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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