一种生物基星型ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110466774.3
IPC分类号：C08F220/18;C08F220/28;C08F220/32;C08F220/38;G03F7/004
申请日期：
2021-04-28
申请人：
中科院长春应化所黄埔先进材料研究院

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专利名称	一种生物基星型ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法
申请号	CN202110466774.3	申请日期	2021-04-28
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-06	公开/公告号	CN113214428A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C08F220/18 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C08 有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物 C08F 仅用碳-碳不饱和键反应得到的高分子化合物（由低碳烃制造液态烃混合物，例如通过齐聚作用入C10G 50/00；发酵或使用酶的方法合成目标化合物或组合物或从外消旋混合物中分离旋光异构体入C12P；含有碳-碳不饱和键的单体接枝聚合到纤维、丝线、纱线、织物或用这些材料制成的纤维制品入D06M 14/00）〔2〕 C08F220/00 具有1个或更多不饱和脂族基化合物的共聚物，每个不饱和脂族基只有1个碳-碳双键，并且只有1个是仅以羧基或它的盐、酐、酯、酰胺、酰亚胺或腈为终端〔2〕 C08F220/02 具有少于10个碳原子的一元羧酸；它的衍生物〔2〕 C08F220/10 酯〔2〕 C08F220/12 一元醇或酚的〔2〕 C08F220/16 含两个或更多碳原子酚或醇的〔2〕 C08F220/18 与丙烯酸或甲基丙烯酸〔2〕	IPC分类号	C;0;8;F;2;2;0;/;1;8;;;C;0;8;F;2;2;0;/;2;8;;;C;0;8;F;2;2;0;/;3;2;;;C;0;8;F;2;2;0;/;3;8;;;G;0;3;F;7;/;0;0;4查看分类表>
申请人	中科院长春应化所黄埔先进材料研究院	申请人地址	广东省广州市黄埔区连云路388号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院	当前权利人	广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
发明人	季生象;顾雪松;刘亚栋;李小欧
代理机构	广州市华学知识产权代理有限公司	代理人	宫爱鹏

摘要

本发明公开了一种生物基星型ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法，所述成膜树脂包含如下式I无规星型聚合物结构；其中n、m、x和y为单体的摩尔占比，0＜n≤0.3，0＜m≤0.8，0＜x≤0.2，0＜y≤0.3，n+m+x+y＝1；R1、R2、R3和R4为H、CH3或CH2CH3。本发明将光致产酸剂引入到星型树脂中可以均匀的分布在成膜树脂的膜中。光致产酸剂不仅可以在曝光的区域产酸，同时还能有效地在光刻胶中均匀分布，提高光刻胶的粘附性、灵敏度(≤31mJ/cm2)、分辨率(≤90nm)，改善光刻胶的成膜能力。

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