检测X射线光电子能谱仪稳定性的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010160621.1
IPC分类号：G01N23/2273
申请日期：
2020-03-10
申请人：
长鑫存储技术有限公司

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著录项信息

专利名称	检测X射线光电子能谱仪稳定性的方法
申请号	CN202010160621.1	申请日期	2020-03-10
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-09-10	公开/公告号	CN113376196A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N23/2273 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N23/206 （转入G01N 23/205） G01N23/22 通过测量来自材料的二次发射〔1，2，2006.01，2018.01〕 G01N23/227 测量光电效应，例如，光电子发射显微镜〔PEEM〕〔2，2006.01，2018.01〕 G01N23/2273 测量光电子光谱，例如用于化学分析的电子光谱〔ESCA〕或X射线光电子能谱〔XPS〕〔2018.01〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;3;/;2;2;7;3查看分类表>
申请人	长鑫存储技术有限公司	申请人地址	安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长鑫存储技术有限公司	当前权利人	长鑫存储技术有限公司
发明人	陆朋朋
代理机构	广州华进联合专利商标代理有限公司	代理人	虞凌霄

摘要

本发明涉及一种检测X射线光电子能谱仪稳定性的方法，包括获取表面形成有氮氧化硅薄膜的校准片对应的氧氮含量的比率的第一上限值和第一下限值，氧氮含量的比率是指校准片对应的氧含量和氮含量之和与氮氧化硅薄膜厚度的比值；使用所述光电子能谱仪对校准片进行测量，获取氧氮含量的比率的第一测试值；当第一测试值在第一上限值和第一下限值之间时，使用X射线光电子能谱仪获取的制程监控片的氮含量的值在正常波动范围内，认为该光电子能谱仪能准确测试出制程监控片的氮含量，进而判定光电子能谱仪处于稳定状态，能够排除校准片的氮氧化硅薄膜被进一步氧化带来的干扰，避免了因X射线光电子能谱仪测试异常引起的生产失误，降低了生产成本。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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