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一种图像显影过程中显影液浓度调配方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610813937.X
  • IPC分类号:G03F7/30;G05D11/13
  • 申请日期:
    2016-09-09
  • 申请人:
    武汉华星光电技术有限公司
著录项信息
专利名称一种图像显影过程中显影液浓度调配方法
申请号CN201610813937.X申请日期2016-09-09
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2016-12-07公开/公告号CN106200281A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/30IPC分类号G;0;3;F;7;/;3;0;;;G;0;5;D;1;1;/;1;3查看分类表>
申请人武汉华星光电技术有限公司申请人地址
湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人武汉华星光电技术有限公司当前权利人武汉华星光电技术有限公司
发明人卢大闯
代理机构深圳市铭粤知识产权代理有限公司代理人孙伟峰
摘要
一种为消除因浓度变化影响显影效果的Offset函数的补值方法,本发明涉及Offset函数的补值方法。本发明是要解决解决空气中的CO2会溶解在显影液中导致显影后的图形临界尺寸CD偏离设定范围值的问题。本发明是通过当测量前显影液浓度升高时,按照一定更正关系调配显影液的浓度;显影液的控制系统(DCS)内显影液浓度测量计在测量显影液浓度时存在一定机差,在设备调试前期都会对浓度测量计进行校准,进行offset函数的补值,消除机差;根据浓度的变化实现Offset函数的补值,使显影液的浓度实现调配保持显影后的图形临界尺寸CD符合设定值等步骤实现的。本发明应用于Offset函数补值领域。

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