晶圆检测装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202120276936.2
IPC分类号：G01N21/95;G01N21/01
申请日期：
2021-01-29
申请人：
无锡新微阳科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	晶圆检测装置
申请号	CN202120276936.2	申请日期	2021-01-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/95 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕 G01N21/95 特征在于待测物品的材料或形状（G01N 21/89至G01N 21/91，G01N 21/94优先）〔7〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;9;5;;;G;0;1;N;2;1;/;0;1查看分类表>
申请人	无锡新微阳科技有限公司	申请人地址	江苏省无锡市新吴区珠江路49-1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	无锡新微阳科技有限公司	当前权利人	无锡新微阳科技有限公司
发明人	孙军;潘亮良
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本申请涉及一种晶圆检测装置，其包括底座，底座上设有显微镜和齿条，底座上滑动连接有移动板，移动板上转动连接有第二齿轮和丝杆，第二齿轮与齿条啮合，移动板上滑动连接有滑动台，丝杆与滑动台螺纹连接，移动板的移动方向与滑动台的移动方向垂直，滑动台上设有检测台，检测台上开设有安装槽，安装槽开口向上。本申请具有改善显微镜镜头难以调整，导致晶圆检测不便的缺陷的效果。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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