加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

托盘装置及结晶膜生长设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201110059870.2
  • IPC分类号:C23C16/458;C23C16/455
  • 申请日期:
    2011-03-11
  • 申请人:
    北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
著录项信息
专利名称托盘装置及结晶膜生长设备
申请号CN201110059870.2申请日期2011-03-11
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2012-06-06公开/公告号CN102485953A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/458IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;8;;;C;2;3;C;1;6;/;4;5;5查看分类表>
申请人北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司申请人地址
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京北方华创微电子装备有限公司当前权利人北京北方华创微电子装备有限公司
发明人古村雄二;张建勇;徐亚伟;张秀川;周卫国;董志清
代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司代理人张天舒;陈源
摘要
本发明属于结晶膜生长技术领域,具体提供一种用于承载被加工基片的托盘装置,其包括多个沿纵向层叠设置的托盘,并且相邻托盘之间具有一定间距。此外,本发明还提供一种结晶膜生长设备,其包括工艺腔室、工艺气体输送系统及排气系统,并且在所述工艺腔室内设置有本发明提供的上述托盘装置,用以在工艺过程中承载基片。本发明提供的托盘装置及具有该托盘装置的结晶膜生长设备,能够以较低的成本来增加每次工艺所能处理的基片数量,进而提高产能。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供