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彩色影像感测装置及其制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200410089763.4
  • IPC分类号:G03F7/20;H01L21/00
  • 申请日期:
    2004-11-04
  • 申请人:
    力晶半导体股份有限公司
著录项信息
专利名称彩色影像感测装置及其制造方法
申请号CN200410089763.4申请日期2004-11-04
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2006-05-10公开/公告号CN1770015
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人力晶半导体股份有限公司申请人地址
台湾省新竹市 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人力晶半导体股份有限公司当前权利人力晶半导体股份有限公司
发明人蔡宪庆;钟祥珉;汪嘉将;陈钰琬;陈诗岚;李甫哲
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人陶凤波;侯宇
摘要
本发明提供一种彩色影像感测装置及其制造方法。首先,提供一基板,包括一感测像素阵列于基板的主要区域,一接触垫于基板的外围区域上。形成一保护层于基底上,覆盖感测像素阵列与接触垫。形成一第一平坦层于保护层上。形成一彩色滤光层于第一平坦层上,对应该感测像素阵列区域。形成一第二平坦层于第一平坦层上,覆盖彩色滤光层。定义一第一开口于第二平坦层中,显露出第一平坦层,第一开口位于相对应接触垫的位置,以及施以干蚀刻工艺,以形成一第二开口于第一平坦层与保护层中,显露出接触垫。如此,接触垫开口于彩色滤光层之后形成,因此可避免接触垫表面腐蚀并且可克服现有技术光致抗蚀剂涂布不均的问题。

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