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样本检查装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201410077005.4
  • IPC分类号:G01N21/3581
  • 申请日期:
    2014-03-04
  • 申请人:
    精工爱普生株式会社
著录项信息
专利名称样本检查装置
申请号CN201410077005.4申请日期2014-03-04
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2014-09-10公开/公告号CN104034688A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N21/3581IPC分类号G;0;1;N;2;1;/;3;5;8;1查看分类表>
申请人精工爱普生株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人精工爱普生株式会社当前权利人精工爱普生株式会社
发明人富冈纮斗;竹中敏
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人舒艳君;李洋
摘要
本发明涉及样本检查装置,能够抑制因太赫兹波的散射引起的检测精度的降低。本发明的样本检查装置(100)具有产生太赫兹波的太赫兹波产生部(30)、和载置作为被检查物的样本(2)的输送面(12),且具备构成为能够沿输送面(12)的面内方向输送样本(2)的输送部(10)、变更从太赫兹波产生部(30)射出并对被载置于输送面(12)的样本(2)照射的太赫兹波的照射方向的照射方向变更部(50)、以及检测照射至被载置于输送面(12)的样本(2)并透过或者反射的太赫兹波的太赫兹波检测部(40),照射方向变更部(50)通过变更太赫兹波产生部(30)的位置来变更照射方向。

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