用于快速冷却基板的方法与装置发明专利
申请号：CN201580015754.7
LOC分类号:H01L21/02
IPC结构图谱：
- F机械工程；照明；加热；武器；爆破
- F0发动机或泵
- F04液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
- F04B液体变容式机械；泵（发动机燃料喷射泵入F02M；旋转活塞式或摆动活塞式液体机械或泵入F04C；非变容式泵入F04D；通过其他流体直接接触或利用被泵送流体的惯性的流体泵送入F04F；曲轴、十字头、连杆入F16C；飞轮入F16F；旋转运动和往复运动互相转换的一般传动装置入F16H；通用活塞、活塞杆、工作缸入F16J；离子泵入H01J 41/12；电动泵入H02K 44/02）
- F04B39/00不包含在F04B 25/00至F04B 37/00组中或与上述组无关的专门适用于弹性流体的泵或泵送系统的零件、部件或附件（用于控制入F04B 49/00）
- F04B39/06冷却（通用机械或发动机的入F01P）；加热；防止冻结
