液晶基板搬运机器人

1.一种液晶基板搬运机器人，具备：由连杆机构构成的升降机构；由连杆机构构成的水平多关节机构；在所述水平多关节机构上载置矩形形状的液晶基板的手部；及装备于所述升降机构的移动台车，其特征在于：
所述升降机构的第1臂体(1A)和第2臂体(2A)以第1旋转轴(1C)为中心旋转和上下；
所述水平多关节机构由安装到在水平面内可旋转的旋转轴上的多个轴构成，所述多个轴的任一轴上具备驱动机构，并且所述水平多关节机构构成为在安装到所述升降机构的前端的水平基座(7)上以对称结构配置有左臂与右臂的臂体(3A、4A)；
所述手部通过安装到所述臂体(4A)端部的第一コ字形支柱和第二コ字形支柱安装到所述水平多关节机构上，在所述コ字形支柱上具备检测所述液晶基板的位置的传感器；
所述传感器由第一传感器和第二传感器构成，所述第一传感器配置于所述第一コ字形支柱上，以使所述矩形形状的液晶基板的一侧的一边通过，所述第二传感器配置于所述第二コ字形支柱上，以使所述矩形形状的液晶基板的另一侧的一边通过。

液晶基板搬运机器人\n技术领域\n[0001] 本发明涉及液晶基板搬运装置的控制方法。\n背景技术\n[0002] 对于现有的液晶搬运机器人，作为校正液晶基板的横向偏移的方法公开有使用距离传感器测量横向偏移，通过在横向上移动机器人来校正横向偏移的方法(例如，参照专利文献1)。图4和图5表示现有的液晶搬运机器人。如图4所示，在连接部106的上端部\n106a上安装有支撑位置检测传感器114的支撑臂115。为使位置检测传感器114配置在与机器手弯曲的方向相对侧，将支撑臂115安装在连接部106的上端部106a为好。并且，在机器手(未图示)吸附玻璃基板后，在被移动至机器人的原点位置时，为了能检测出玻璃基板左端缘的位置，位置检测传感器114以向玻璃基板W侧(图4中的右侧)开口的方式形成为“倒コ”字状。\n[0003] 另外，在手臂131C的上面，在玻璃基板的前面部大致平行地安装2个第1距离传感器113，在第1距离传感器113的后方部可以转动地配设有安装有位置检测传感器114的支撑臂。支撑臂形成为“L”字状，在前端部，位置检测传感器114以向玻璃基板侧开口的方式形成为“コ”字状。如图5所示，支撑臂通过未图示的驱动马达，以手臂131C的后方安装部为中心在顺时针方向转动，其转动终端为在玻璃基板被移动至原点位置时，玻璃基板的左端缘插入位置检测传感器114的开口部的位置。\n[0004] 专利文献1：日本国特开平9-162257号(第4-5页，图4、图7)\n发明内容\n[0005] 液晶搬运机器人用机器手从配置有多层玻璃基板的晶圆盒中吸附玻璃基板，在作业区域进行配置玻璃基板的作业。在配置有玻璃基板的晶圆盒中，虽然玻璃基板配置在规定的位置，但实际上在晶圆盒内会产生旋转偏移或横向偏移，如果用机器手取出这种状态的玻璃基板，则会在包含载置误差的状态下搬运至作业区域，在于作业区域进行的描绘或曝光的工序中产生误差，成为不良产品。\n[0006] 另外，近年来玻璃基板向大型化发展，微小的旋转偏移或横向偏移也由于玻璃基板大型化而产生很大的影响。另外，随着玻璃基板的大型化，搬运物的惯性变大，另一方面，要求缩短生产节拍时间。即，对于液晶搬运机器人要求高刚性的结构，需要不易振动的结构。\n[0007] 与此相对，现有的液晶搬运机器人具有用于对载置于机器手上的液晶基板的旋转偏移及横向偏移进行校正的传感器，虽然能进行校正，但在连接部所具备的支撑臂上具备位置检测传感器的结构的情况下，由于载置具有很大惯性的液晶基板的机器手移动，所以在连接部上也作用反作用力，配置于从该连接部向上方延伸的位置的位置传感器，由于支撑臂的刚性较低而产生残余振动。由于在产生这种振动中测量横向偏移也将位置传感器自身振动中的值检测出来，因此产生无法检测出真实的横向偏移量的问题。\n[0008] 另外，关于使安装有位置检测传感器的支撑臂转动测量玻璃基板的横向偏移的方法，由于使安装有位置检测传感器的支撑臂转动配置于测量位置，因此在位置检测传感器的测量位置上，只要有转动运动就会产生误差，所以产生无法检测出准确的横向偏移的问题。\n[0009] 本发明是鉴于这些问题而完成的，目的在于提供一种能准确地检测出玻璃基板的位置，校正位置进行搬运的液晶搬运机器人。\n[0010] 为了解决上述问题，本发明提出如下方案。\n[0011] 本发明提供一种液晶基板搬运机器人，具备：由连杆机构构成的升降机构；由连杆机构构成的水平多关节机构；在所述水平多关节机构上载置矩形形状的液晶基板的手部；及装备于所述升降机构的移动台车，其特征在于：\n[0012] 所述升降机构的第1臂体(1A)和第2臂体(2A)以第1旋转轴(1C)为中心旋转和上下；\n[0013] 所述水平多关节机构由安装到在水平面内可旋转的旋转轴上的多个轴构成，所述多个轴的任一轴上具备驱动机构，并且所述水平多关节机构构成为在安装到所述升降机构的前端的水平基座(7)上以对称结构配置有左臂与右臂的臂体(3A、4A)；\n[0014] 所述手部通过安装到所述臂体(4A)端部的第一コ字形支柱和第二コ字形支柱安装到所述水平多关节机构上，在所述コ字形支柱上具备检测所述液晶基板的位置的传感器；\n[0015] 所述传感器由第一传感器和第二传感器构成，所述第一传感器配置于所述第一コ字形支柱上，以使所述矩形形状的液晶基板的一侧的一边通过，所述第二传感器配置于所述第二コ字形支柱上，以使所述矩形形状的液晶基板的另一侧的一边通过。\n[0016] 根据本发明，通过在刚性较高的支柱上装备检测基板位置的传感器，即使手部高加速·高速地移动，其反作用也不会直接作为振动施加于支柱，因此，能够取得准确的位置信息。这样，由于能够检测出准确的位置，所以能够实现准确的校正，能够消除当前在成为问题的作业区域内的描绘或曝光工序产生不良产品的问题，与此同时，也可以应用于大型化的玻璃基板。\n[0017] 另外，由于能够以准确的位置信息为基础进行校正，所以在向作业区域搬运之际能够将玻璃基板定位于准确的位置，能够提高产品的加工精度。另外，由于在玻璃基板通过之际检测出位置信息，基于检测结果转换为各关节的旋转角度进行校正，所以也能够在移动中校正玻璃基板，因此也可以缩短生产节拍时间。\n附图说明\n[0018] 图1是表示本发明的液晶基板搬运机器人的立体图。\n[0019] 图2是本发明的手部的构成图。\n[0020] 图3是表示本发明的位置校正方法的流程图。\n[0021] 图4是表示现有的液晶基板搬运机器人的主视图。\n[0022] 图5是表示现有的液晶基板搬运机器人的传感器部的图。\n[0023] 符号说明\n[0024] 1-液晶基板搬运机器人；1C-第1旋转轴；2C-第2旋转轴；3C-第3旋转轴；4C-第\n4旋转轴；1A-第1臂体；2A-第2臂体；3A-第3臂体；4A-第4臂体；7-水平基座；8-コ字支柱；9-机器手；10-距离