离子管

发明专利有效专利

申请号：
CN200910262401.3
IPC分类号：H01J27/02
申请日期：
2009-12-18
申请人：
株式会社昭和真空

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	离子管
申请号	CN200910262401.3	申请日期	2009-12-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2010-06-30	公开/公告号	CN101764020A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J27/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J27/00 离子束管（H01J 25/00，H01J 33/00，H01J 37/00优先；粒子加速器入H05H） H01J27/02 离子源；离子枪〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;2;7;/;0;2查看分类表>
申请人	株式会社昭和真空	申请人地址	日本神奈川县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社昭和真空	当前权利人	株式会社昭和真空
发明人	长田佑介;盐野忠久
代理机构	中原信达知识产权代理有限责任公司	代理人	谢丽娜;关兆辉

摘要

本发明提供一种排列有多个离子束引出孔的离子管，使得离子束电流密度变得均匀。该离子管具有由阴极(10)和阳极(20)构成的等离子体生成构件，以及从由等离子体生成构件生成的等离子体中引出离子束的栅极(30)，阴极由架设于一对丝电极(13)之间的丝极(12)构成，栅极具有平行地排列在丝极上的多个离子束引出孔(31)，包含该丝极的两端部(12a)的单位空间内的发热量比包含该丝极的中央部(12b)的单位空间内的发热量大。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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