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一种从硅片切削废液中回收碳化硅和聚乙二醇切削液的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201010528143.1
  • IPC分类号:C10M175/00;C01B31/36;C01B33/32
  • 申请日期:
    2010-11-02
  • 申请人:
    林小妹
著录项信息
专利名称一种从硅片切削废液中回收碳化硅和聚乙二醇切削液的方法
申请号CN201010528143.1申请日期2010-11-02
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2011-03-02公开/公告号CN101982536A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C10M175/00IPC分类号C;1;0;M;1;7;5;/;0;0;;;C;0;1;B;3;1;/;3;6;;;C;0;1;B;3;3;/;3;2查看分类表>
申请人林小妹申请人地址
江苏省无锡市北塘区中大颐河湾43号1002室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人钱丽君当前权利人钱丽君
发明人钱丽君
代理机构北京安博达知识产权代理有限公司代理人徐国文
摘要
本发明涉及一种从硅片切削废液中回收碳化硅和聚乙二醇切削液的方法,其特征在于包括以下步骤:废切削液经常温下搅拌后,分离得固体和液体;固体加入纯水搅拌,打碎,加入碱液进行反应,再进入离心分离装置,得到碳化硅液流;加入酸液进行反应,再进入离心分离装置,得到干净的碳化硅液流。经过清洗后,进入烘干机,烘干,风力分级,筛选后包装。固液分离后的液体部分,加入脱色剂和助滤剂,进入机械分离,分离出的液体中再次加入脱色剂和助滤剂,进行机械分离,经过离子交换系统过滤脱去盐分后,经四效蒸发系统脱去水分,即得到聚乙二醇切削液;本发明避免了硅片切削废液直接排放对环境造成的污染,同时还有效降低了硅片切割时的生产成本。

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