一种光信号的处理装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201710909289.2
IPC分类号：G03F9/00G03F7/20
申请日期：
2017-09-29
申请人：
上海微电子装备（集团）股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种光信号的处理装置及方法
申请号	CN201710909289.2	申请日期	2017-09-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-04-05	公开/公告号	CN109581831A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F9/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F9/00 原版、蒙片、片框、照片、图纹表面的对准或定位，例如自动地（G03F 7/22优先；照相蒙片的制备入G03F 1/00；在复制用的照相印片设备中的入G03B 27/00）〔4〕	IPC分类号	G03F9/00;G03F7/20查看分类表>
申请人	上海微电子装备（集团）股份有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张东路15*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海微电子装备（集团）股份有限公司	当前权利人	上海微电子装备（集团）股份有限公司
发明人	孙建超;忻斌杰;李运锋
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	屈蘅;李时云

摘要

本发明提供了一种光信号处理装置及方法，包括测量光能输出单元、自参考棱镜单元、信号测量接收单元和光能损耗单元，所述测量光能输出单元将光信号采集至自参考棱镜单元，所述光信号经自参考棱镜单元进入光能损耗单元损耗部分光信号后再进入信号测量接收单元。本发明提供的光信号的处理装置及方法，通过对衍射光中低级次光的处理，降低低级次光的噪声干扰，可以有效的提高对准重复性。

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一种光信号的处理装置及方法

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