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具有用于高度测量的干涉仪的带电粒子束装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202110189978.7
IPC分类号：G01N23/2251;G01B15/00;G01B15/02
申请日期：
2021-02-18
申请人：
ICT半导体集成电路测试有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	具有用于高度测量的干涉仪的带电粒子束装置
申请号	CN202110189978.7	申请日期	2021-02-18
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-09-03	公开/公告号	CN113340927A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N23/2251 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N23/206 （转入G01N 23/205） G01N23/22 通过测量来自材料的二次发射〔1，2，2006.01，2018.01〕 G01N23/221 利用活化分析法〔2〕 G01N23/222 利用中子活化分析〔NAA〕〔3，2006.01〕 G01N23/2251 使用入射电子束，例如扫描电子显微镜〔SEM〕〔2018.01〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;3;/;2;2;5;1;;;G;0;1;B;1;5;/;0;0;;;G;0;1;B;1;5;/;0;2查看分类表>
申请人	ICT半导体集成电路测试有限公司	申请人地址	德国海姆斯特滕变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	ICT半导体集成电路测试有限公司	当前权利人	ICT半导体集成电路测试有限公司
发明人	J·布罗伊尔;R·卢温尼;A·戈尔登施泰因
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	侯颖媖;张鑫

摘要

公开了一种操作带电粒子束装置的方法，包括：用物镜组件将带电粒子束聚焦到样品上；使反射光束穿过物镜组件的孔到达干涉仪；以及用干涉仪干涉地确定样品的z位置。公开了一种带电粒子束装置，包括具有带电粒子源的带电粒子束发生器。用于带电粒子束的带电粒子路径穿过物镜组件的孔朝向样品平台延伸。干涉仪被布置为接收穿过物镜组件的孔的反射光束。

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