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抗腐蚀涂层的制作方法、抗腐蚀涂层、等离子体加工设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201210195700.1
IPC分类号：C23C4/10
申请日期：
2012-06-14
申请人：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	抗腐蚀涂层的制作方法、抗腐蚀涂层、等离子体加工设备
申请号	CN201210195700.1	申请日期	2012-06-14
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2014-01-01	公开/公告号	CN103484809A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C4/10 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C4/00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆（堆焊入B23K，例如B23K5/18，B23K9/04〔4，2016.01〕 C23C4/04 以镀覆材料为特征的〔4〕 C23C4/10 氧化物、硼化物、碳化物、氮化物、或硅化物；其混合物〔4，2016.01〕	IPC分类号	C;2;3;C;4;/;1;0查看分类表>
申请人	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司	申请人地址	北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	康明阳
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人	彭瑞欣;张天舒

摘要

本发明提供一种抗腐蚀涂层的制作方法、抗腐蚀涂层、等离子体加工设备，其中，抗腐蚀涂层的制作方法包括以下步骤：将氧化钇粉体和氧化铝粉体按照重量比1∶1的比例球磨混合均匀获得复合粉体；将所述复合粉体涂覆在所述金属部件的表面，从而在所述金属部件的表面获得抗腐蚀的复合涂层。该抗腐蚀涂层的制作方法可以获得孔隙率较低的抗腐蚀涂层，从而可以提高涂层的抗等离子体腐蚀性能。

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