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用于沉积高纵横比分子结构的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200780008330.3
  • IPC分类号:B82B3/00;C01B31/02;H01L51/00
  • 申请日期:
    2007-03-07
  • 申请人:
    卡纳图有限公司
著录项信息
专利名称用于沉积高纵横比分子结构的方法
申请号CN200780008330.3申请日期2007-03-07
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2009-04-01公开/公告号CN101400598
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B82B3/00IPC分类号B;8;2;B;3;/;0;0;;;C;0;1;B;3;1;/;0;2;;;H;0;1;L;5;1;/;0;0查看分类表>
申请人卡纳图有限公司申请人地址
芬兰艾斯博 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人卡纳图有限公司当前权利人卡纳图有限公司
发明人埃斯科·卡宾耐;艾伯特·纳斯布林;大卫·布朗;大卫·冈萨雷斯
代理机构北京安信方达知识产权代理有限公司代理人王漪;郑霞
摘要
一种用于沉积高纵横比分子结构(HARMS)的方法,所述方法包括在含有一个或多个HARM结构的气溶胶上施加力,所述力使基于一种或多种物理特征和/或性质的一个或多个HARM结构朝向一个或多个预定位置移动,用来依靠所施加的力将一个或多个HARM结构沉积在模板中。

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