基于平面干涉原理的平行光管分划板高精度装调方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201310037257.X
IPC分类号：G01M11/02;G02B27/36
申请日期：
2013-01-30
申请人：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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著录项信息

专利名称	基于平面干涉原理的平行光管分划板高精度装调方法
申请号	CN201310037257.X	申请日期	2013-01-30
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	2013-06-12	公开/公告号	CN103149013A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M11/00 光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件 G01M11/02 光学性质的测试	IPC分类号	G;0;1;M;1;1;/;0;2;;;G;0;2;B;2;7;/;3;6查看分类表>
申请人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	申请人地址	吉林省长春市东南湖大路3888号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	当前权利人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人	何煦;吴国栋
代理机构	长春菁华专利商标代理事务所	代理人	张伟

摘要

基于平面干涉原理的平行光管分划板高精度装调方法属于光学检测与装调技术领域，该方法解决了平行光管分划板定焦精度较低、无法定量判读的问题，该方法包括通过调整球面反射镜、平行光管和干涉仪共光轴，球面反射镜焦点与平行光管轴上焦点齐焦，将分划板引入光路中，微调分划板的俯仰方位角，并沿光轴方向对分划板进行前后离焦调整；对干涉仪采集的干涉条纹进行计算，通过Zernike系数的Power值、干涉光束口径D以及平行光管焦距f′的数学关系，得到分划板的离焦量Δd，实现基于平面干涉原理的平行光管分划板高精度装调方法。本发明计算出分划板实时的失调量，避免了人工目视判读寻找回转点的盲目性，提高了装调效率和精度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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