掩膜板制作方法和掩膜板

发明专利有效专利

申请号：
CN202110670150.3
IPC分类号：C23C14/04;C23C14/24;B23P15/00;B23K26/21
申请日期：
2021-06-17
申请人：
云谷（固安）科技有限公司

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著录项信息

专利名称	掩膜板制作方法和掩膜板
申请号	CN202110670150.3	申请日期	2021-06-17
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-09-14	公开/公告号	CN113388808A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/04 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/04 局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;0;4;;;C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;B;2;3;P;1;5;/;0;0;;;B;2;3;K;2;6;/;2;1查看分类表>
申请人	云谷（固安）科技有限公司	申请人地址	河北省廊坊市固安县新兴产业示范区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	云谷（固安）科技有限公司	当前权利人	云谷（固安）科技有限公司
发明人	齐英旭;卓林海;王亚;郭宏伟;田斌
代理机构	成都极刻智慧知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	宋江

摘要

本申请提供的掩膜板制作方法和掩膜板，涉及掩膜板制作技术领域。在本申请中，首先，制作具有掩膜图形和堤坝结构的预制图形板，其中，预制图形板包括掩膜区域和非掩膜区域，掩膜图形位于掩膜区域内，堤坝结构位于非掩膜区域内。其次，将堤坝结构所在位置作为焊接位置，并基于焊接位置将预制图形板焊接于边框结构，得到包括预制图形板和边框结构的掩膜板，其中，堤坝结构用于增加将预制图形板焊接于边框结构之后在第一方向上具有的残留应力的受力面积，第一方向为从堤坝结构到边框结构的方向。基于上述方法，可以改善基于现有的掩膜板制作技术制作形成的掩膜板的使用寿命较低的问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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