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一种取样光栅的制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201110210161.X
IPC分类号：G02B5/18;B24B19/00
申请日期：
2011-07-26
申请人：
苏州大学

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种取样光栅的制作方法
申请号	CN201110210161.X	申请日期	2011-07-26
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2011-12-14	公开/公告号	CN102279429A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B5/18 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B5/00 除透镜外的光学元件（光波导入G02B 6/00；光学逻辑元件入G02F 3/00）〔4〕 G02B5/18 衍射光栅	IPC分类号	G;0;2;B;5;/;1;8;;;B;2;4;B;1;9;/;0;0查看分类表>
申请人	苏州大学	申请人地址	江苏省苏州市工业园区仁爱路199号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州大学	当前权利人	苏州大学
发明人	陈新荣;李朝明;吴建宏
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	逯长明

摘要

本发明提供了一种取样光栅的制作方法，包括：提供基板，并在所述基板上制作取样光栅；测量所述取样光栅上各个区域的衍射效率；当所述取样光栅上某区域的衍射效率大于预设的衍射效率范围时，对该区域进行研磨，直至该区域的衍射效率在预设的衍射效率范围内。本发明的制作方法可以制作出的均匀性较好的取样光栅。

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