精密控制废热利用高效率无尘室恒温恒湿器的空调装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201310359454.3
IPC分类号：F24F5/00;F24F12/00
申请日期：
2013-08-16
申请人：
株式会社EGENC

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法律信息

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著录项信息

专利名称	精密控制废热利用高效率无尘室恒温恒湿器的空调装置
申请号	CN201310359454.3	申请日期	2013-08-16
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-04-09	公开/公告号	CN103712298A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F24F5/00 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F24 供热；炉灶；通风 F24F 空气调节；空气增湿；通风；空气流作为屏蔽的应用（从尘、烟产生区消除尘、烟入B08B 15/00；从建筑物中排除废气的竖向管道入E04F17/02；，烟道末端入F23L17/02） F24F5/00 不包含在F24F 1/00或F24F 3/00组中的空气调节系统或设备	IPC分类号	F;2;4;F;5;/;0;0;;;F;2;4;F;1;2;/;0;0查看分类表>
申请人	株式会社EGENC	申请人地址	韩国忠清南道天安市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社EGENC	当前权利人	株式会社EGENC
发明人	金权中
代理机构	北京律诚同业知识产权代理有限公司	代理人	王玉双

摘要

本发明涉及一种对向半导体制造设备的无尘室供给的空气进行过滤并对温度和湿度进行控制的空调装置，特别是涉及一种用于精密控制废热利用高效率无尘室恒温恒湿器的空调装置，其回收从现有的空调系统排放至大气的废热，无需供给相当于该废热能量的另外的能量而调节湿度，将废热再利用线圈及冷凝线圈以分级（STEP）划分为多段，以根据室内负荷或外气负荷的变动而改变蒸发器的除湿负荷，从而能够有效地精密控制冷凝器中发热的热量变化。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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