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光取向装置以及光取向方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510886104.1
  • IPC分类号:G02F1/1337
  • 申请日期:
    2015-12-04
  • 申请人:
    优志旺电机株式会社
著录项信息
专利名称光取向装置以及光取向方法
申请号CN201510886104.1申请日期2015-12-04
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-06-15公开/公告号CN105676538A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02F1/1337IPC分类号G02F1/1337查看分类表>
申请人优志旺电机株式会社申请人地址
日本*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人优志旺电机株式会社当前权利人优志旺电机株式会社
发明人石井一正
代理机构永新专利商标代理有限公司代理人徐冰冰;刘杰
摘要
一种光取向装置以及光取向方法,在光取向处理中,进一步提高生产率,进一步提高质量。在两个工作台(21、22)上载置基板(S),以使得通过由照射单元(1)照射偏振光的照射区域(R)的方式利用工作台移动机构(3)使两个工作台(21、22)交替地往复移动。控制工作台移动机构(3)的控制单元(4)在各工作台(21、22)通过照射区域(R)时维持慢的速度即恒定的设定通过速度,对于第一工作台(21)在第一基板搭载回收位置与照射区域(R)之间的移动以及第二工作台(22)在第二基板搭载回收位置与照射区域(R)之间的移动,使其以快的速度即设定搬运速度进行移动。

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