一种嵌入U形梁的带自标功能的微惯性传感器

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201520342499.4
IPC分类号：G01P15/125;G01P21/00
申请日期：
2015-05-24
申请人：
杭州洛凯科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种嵌入U形梁的带自标功能的微惯性传感器
申请号	CN201520342499.4	申请日期	2015-05-24
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01P15/125 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01P 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示（利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00；用于测量两个或多个运动变量的组合测量设备入G01C 23/00；声速测量入G01H 5/00；光速测量入G01J 7/00；通过无线电波或其他波的反射或再辐射，且基于传播效应（例如多普勒效应）、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T） G01P15/00 测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变 G01P15/02 利用惯性力（G01P 15/14优先）〔1，7，2013.01〕 G01P15/08 用变换成电或磁量 G01P15/125 应用电容变送器〔3〕	IPC分类号	G;0;1;P;1;5;/;1;2;5;;;G;0;1;P;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	杭州洛凯科技有限公司	申请人地址	浙江省杭州市经济技术开发区白杨街道6号大街452号3幢917号房变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	杭州洛凯科技有限公司	当前权利人	杭州洛凯科技有限公司
发明人	颜海霞;颜辉;潘颖
代理机构	浙江杭州金通专利事务所有限公司	代理人	王佳健

摘要

本实用新型涉及一种嵌入U形梁的带自标功能的微惯性传感器。本实用新型中敏感器质量块为刻蚀有栅条形井的矩形硅片，两对应端通过硅支撑梁与锚点连接，另两个对应端分别设置有数量相同、位置对应的矩形硅条。驱动器质量块设置在敏感器质量块的两侧，中间刻有环形槽，两侧设置有可动质量块驱动硅条和驱动器驱动硅条，敏感器质量块连接的硅条与对应的质量块驱动硅条组成质量块驱动电容。固定驱动硅条的梳齿条与可动驱动器驱动硅条组成驱动器驱动电容。敏感器质量块栅形电极和衬底表面的叉指铝电极组成检测电容。本实用新型增大了质量块驱动电容，从而减小了驱动电压；增大了振子质量，减小了布朗噪声；增大了检测电容，减小了压膜空气阻尼。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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