磁悬浮系统和测量至少一个电磁致动器与铁磁元件之间的距离的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201980094622.6
IPC分类号：H01L21/677;F16C32/04;H02K41/02;B60L13/06
申请日期：
2019-03-27
申请人：
应用材料公司

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专利名称	磁悬浮系统和测量至少一个电磁致动器与铁磁元件之间的距离的方法
申请号	CN201980094622.6	申请日期	2019-03-27
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-19	公开/公告号	CN113678238A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/677 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/677 用于传送的，例如在不同的工作站之间〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;F;1;6;C;3;2;/;0;4;;;H;0;2;K;4;1;/;0;2;;;B;6;0;L;1;3;/;0;6查看分类表>
申请人	应用材料公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料公司	当前权利人	应用材料公司
发明人	斯文·兰霍夫;雷纳·厄布;亨宁·奥斯特;马丁·艾尼斯
代理机构	北京律诚同业知识产权代理有限公司	代理人	徐金国;赵静

摘要

描述了一种用于磁悬浮铁磁元件(150)的磁悬浮系统(100)。所述磁悬浮系统(100)包括至少一个电磁致动器(178)，所述至少一个电磁致动器与设置在电流供应系统(135)中的一个或多个变压器(140)耦接，电流供应系统(135)用于向所述至少一个电磁致动器(178)供应电流。另外，描述了一种包括磁悬浮系统的基板处理系统和一种测量至少一个电磁致动器与铁磁元件之间的距离的方法。

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