一种半导体晶圆用切割钢丝表面处理装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202110773393.X
IPC分类号：B24B27/033;B24B27/00;B24B47/12;B24B55/06;B24B55/12;B65H54/44;B65H54/54;B65H57/14;B65H67/04;F26B5/14
申请日期：
2021-07-08
申请人：
南京工业职业技术大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种半导体晶圆用切割钢丝表面处理装置
申请号	CN202110773393.X	申请日期	2021-07-08
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2021-09-17	公开/公告号	CN113400170A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B27/033 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B27/00 其他磨床或装置 B24B27/033 用于清理目的的磨削表面，如清除氧化皮或磨掉表面裂纹〔4〕	IPC分类号	B;2;4;B;2;7;/;0;3;3;;;B;2;4;B;2;7;/;0;0;;;B;2;4;B;4;7;/;1;2;;;B;2;4;B;5;5;/;0;6;;;B;2;4;B;5;5;/;1;2;;;B;6;5;H;5;4;/;4;4;;;B;6;5;H;5;4;/;5;4;;;B;6;5;H;5;7;/;1;4;;;B;6;5;H;6;7;/;0;4;;;F;2;6;B;5;/;1;4查看分类表>
申请人	南京工业职业技术大学	申请人地址	江苏省南京市中山东路532-2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京工业职业技术大学	当前权利人	南京工业职业技术大学
发明人	徐玉杰;倪自飞;黄河;周颖楠;任智伟;蒋振伟;张雨豪;俞叔牙;朱国柱
代理机构	苏州创策知识产权代理有限公司	代理人	范圆圆

摘要

本发明公开了一种半导体晶圆用切割钢丝表面处理装置，包括装置体、热风扇、固定架、支板、收集箱和第三液压伸缩杆，所述装置体内部靠近左侧转动连接有刷辊，且刷辊上端贯穿装置体与第一转轴相连接，同时左右的第一转轴之间通过齿带相连接，右侧的前后两个第一转轴之间通过第一齿轮啮合连接，且第一齿轮贯穿设置在第一转轴上，同时右后侧的第一转轴与第一电机相连接。该半导体晶圆用切割钢丝表面处理装置，将切割钢丝原材料穿过刷辊，在第一电机的作用下、通过齿轮和齿带、第一转轴带动刷辊转动，通过刷辊对切割钢丝原材料通过机械式进行除锈处理，方便后续的表面处理加工，另外可在风机和吸管的作用下将除锈过程产生的飞尘吸入到收集箱内。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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