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一种运动台与探测器同步控制的装置和方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110569756.8
  • IPC分类号:G01N21/01;H04N5/232
  • 申请日期:
    2021-05-25
  • 申请人:
    上海御微半导体技术有限公司
著录项信息
专利名称一种运动台与探测器同步控制的装置和方法
申请号CN202110569756.8申请日期2021-05-25
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-08-13公开/公告号CN113252564A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N21/01IPC分类号G;0;1;N;2;1;/;0;1;;;H;0;4;N;5;/;2;3;2查看分类表>
申请人上海御微半导体技术有限公司申请人地址
上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区芳春路400号1幢3层 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海御微半导体技术有限公司当前权利人上海御微半导体技术有限公司
发明人贾俊伟
代理机构北京品源专利代理有限公司代理人孟金喆
摘要
本发明公开了一种运动台与探测器同步控制的装置和方法,装置包括运动台,运动台用于承载待测物;至少一个图像采集单元,图像采集单元包括:分光镜、成像物镜、探测器;同步控制器,同步控制器与运动台和至少一个探测器电连接;运动台每移动预设距离产生触发探测器拍照的信号,同步控制器用于对拍照的信号进行分频形成多个分频信号,探测器根据分频信号对待测物进行拍照,并在至少一次拍照后进行取像,使得探测器的拍照动作和取像动作与运动台的移动同步。从而,探测器进行取像时,可以刚好满足探测器的像素尺寸,避免了探测器取像的误差,提高了检测良率。

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