利用AFM摩擦力映射的石墨烯区域测量系统及其方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201280018688.5
IPC分类号：G01Q60/26
申请日期：
2012-05-11
申请人：
建国大学校产业协力团

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著录项信息

专利名称	利用AFM摩擦力映射的石墨烯区域测量系统及其方法
申请号	CN201280018688.5	申请日期	2012-05-11
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2013-12-25	公开/公告号	CN103477231A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01Q60/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01Q 扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术〔SPM〕〔2010.01〕 G01Q60/00 特殊类型的SPM 〔扫描探针显微术〕或其设备；其基本组成〔2010.01〕 G01Q60/24 AFM 〔原子力显微术〕或其设备，例如AFM探针〔2010.01〕 G01Q60/26 摩擦力显微术〔2010.01〕	IPC分类号	G;0;1;Q;6;0;/;2;6查看分类表>
申请人	建国大学校产业协力团	申请人地址	韩国首尔变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	建国大学校产业协力团	当前权利人	建国大学校产业协力团
发明人	朴培昊;崔进植
代理机构	北京同达信恒知识产权代理有限公司	代理人	杨黎峰;石磊

摘要

本发明涉及这样的利用AFM摩擦力映射的石墨烯区域测量系统及其方法：使石墨烯样品顺时针旋转的同时进行测量，使得最初测量位置到最终测量位置的旋转角为180°以上，在旋转石墨烯样品期间最少5次测量相同的石墨烯样品，从而分析获得的摩擦力映射图像的明暗差与AFM针尖的行进方向和石墨烯的褶皱方向有关，并获知石墨烯的褶皱方向。为了达到上述目的，本发明包括下列步骤：测量部使用设定为摩擦力模式（FrictionMode）的AFM显微镜测量石墨烯样品；输出部输出摩擦力映射图像，将对比（contrast）范围调整为最小范围以匹配石墨烯样品周边；输出部输出关于横切摩擦力映射图像而获得的特定部分的摩擦力曲线图；利用摩擦力曲线图分析AFM针尖行进方向和石墨烯的褶皱方向的关系；及判断部利用分析出的信息，通过摩擦力映射图像，利用各区域间对比的明暗差，判断石墨烯的褶皱方向。

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