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一种二维沟槽型高压SOI-LIGBT结构

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202022977172.8
  • IPC分类号:H01L23/13;H01L23/29;H01L29/06;H01L29/739
  • 申请日期:
    2020-12-11
  • 申请人:
    张家港意发功率半导体有限公司
著录项信息
专利名称一种二维沟槽型高压SOI-LIGBT结构
申请号CN202022977172.8申请日期2020-12-11
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L23/13IPC分类号H;0;1;L;2;3;/;1;3;;;H;0;1;L;2;3;/;2;9;;;H;0;1;L;2;9;/;0;6;;;H;0;1;L;2;9;/;7;3;9查看分类表>
申请人张家港意发功率半导体有限公司申请人地址
江苏省苏州市张家港经济开发区(国泰北路1号留学生创业园) 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人张家港意发功率半导体有限公司当前权利人张家港意发功率半导体有限公司
发明人周炳;赵承杰;王源政
代理机构苏州国诚专利代理有限公司代理人王丽
摘要
本实用新型公开了一种二维沟槽型高压SOI‑LIGBT结构,包括衬底衬底的上端设有结构本体,结构本体的下端开设有凹槽,衬底的上端齿牙,齿牙的外侧插接于凹槽内,衬底的外壁设有弹性层,弹性层的外侧设有防腐层,防腐层的外侧设有耐磨层。该结构设有多个防护层可以对SOI‑LIGBT结构进行充分的保护;通过齿牙插入到凹槽中,在采用粘胶进行固定,使得衬底与结构本体之间的连接较为紧密。

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