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相对于支撑台定位基片的方法与设备

发明专利无效专利

申请号：
CN200410031369.5
IPC分类号：H01L21/68;H01J9/00
申请日期：
2004-02-20
申请人：
应用材料有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	相对于支撑台定位基片的方法与设备
申请号	CN200410031369.5	申请日期	2004-02-20
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-10-13	公开/公告号	CN1536640
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/68 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/68 用于定位、定向或对准的〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;8;;;H;0;1;J;9;/;0;0查看分类表>
申请人	应用材料有限公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料有限公司	当前权利人	应用材料有限公司
发明人	S·栗太;E·贝尔
代理机构	北京纪凯知识产权代理有限公司	代理人	赵蓉民

摘要

在本发明的第一个方式中，一个基片定位系统包括在支撑基片的一个台的周围间隔开设置的多个推块；每个推块适于设置一个回缩位置以使所述基片被装载在所述台上或从其上卸载；向支撑在所述台上的所述基片的一个边缘延伸；接触所述基片的所述边缘；并且持续延伸以使所述基片相对于所述台移动，直到所述基片相对于所述台校准。本发明还提供了许多其它方式。

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