一种电磁式检测装置、检测方法及镀膜系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201811591621.6
IPC分类号：G01B7/00C23C14/54
申请日期：
2018-12-25
申请人：
北京铂阳顶荣光伏科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种电磁式检测装置、检测方法及镀膜系统
申请号	CN201811591621.6	申请日期	2018-12-25
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2019-04-12	公开/公告号	CN109612377A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B7/00 以采用电或磁的方法为特征的计量设备	IPC分类号	G01B7/00;C23C14/54查看分类表>
申请人	北京铂阳顶荣光伏科技有限公司	申请人地址	上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张江路665*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京顶荣光伏科技有限公司,上海祖强能源有限公司	当前权利人	北京顶荣光伏科技有限公司,上海祖强能源有限公司
发明人	徐义;荆鸣翔
代理机构	北京三聚阳光知识产权代理有限公司	代理人	朱静谦

摘要

本发明涉及设备检测技术领域，具体涉及一种电磁式检测装置、检测方法及镀膜系统。其中，电磁式检测装置包括，用于承载被传送物体并具有导磁性的载具；在传输方向运送所述载具的传输装置；设置在所述传输装置的传输路径上的电磁线圈，并可供载具和所述被传送物体穿过；用于检测所述载具穿过电磁线圈时产生磁场强度的传感器；与磁场强度传感器连接的处理器，其用于根据所述磁场强度传感器检测到的磁场强度的大小确定所述载具的位置信息。采用磁场强度信号的方式来监测被检测部件的位置信号，相比较传统手段非常难被损坏，磁场强度式监测不易受镀膜腔室大量粉尘的影响，信号稳定，维护简单。

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