工厂生产加工系统及其操作方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200510005004.X
IPC分类号：G02F1/136;G02F1/133;G03F7/20
申请日期：
2005-01-31
申请人：
中华映管股份有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	工厂生产加工系统及其操作方法
申请号	CN200510005004.X	申请日期	2005-01-31
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	2006-08-09	公开/公告号	CN1815337
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02F1/136 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02F 用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器〔2，4〕 G02F1/00 控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学〔2，4〕 G02F1/01 对强度、相位、偏振或颜色的控制（G02F 1/29、G02F 1/35优先）〔2，7〕 G02F1/13 基于液晶的，例如单位液晶显示单元〔2〕 G02F1/133 构造上的设备；液晶单元的工作；电路装置（用于控制矩阵中液晶元件并且在结构上不与这些元件相连的装置或电路入G09G 3/36）〔3，7〕 G02F1/136 结构上与一半导体层或基片相结合的液晶单元，例如形成集成电路部分的液晶单元（G02F 1/135优先）〔5〕	IPC分类号	G;0;2;F;1;/;1;3;6;;;G;0;2;F;1;/;1;3;3;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人	中华映管股份有限公司	申请人地址	台湾省台北市中山北路3段22号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中华映管股份有限公司	当前权利人	中华映管股份有限公司
发明人	童耀毅;蔡毓仁;李威良;张清祥;叶松兴
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	陈亮

摘要

一种工厂生产加工系统，至少包括传输系统、两个沉积设备组、蚀刻设备组、光刻工艺设备组与两个光阻剥除设备组。传输系统具有多条传输路线，这些传输路线至少包括两条彼此相连的环形路线，且这两条环形路线相连之处为公共路线。这些沉积设备组与光阻剥除设备组分别设置于这些环形路线上，而蚀刻设备组设置于公共路线上，且光刻工艺设备组设置于两个沉积设备组之间的两条环形路线上。本发明之工厂生产加工系统共同结合了群组式及连续式生产加工系统的优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供