一种简单实用的PVD镀膜电源模组

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202023078423.5
IPC分类号：H02M9/06;H02M3/335;H02M3/04;H02M3/157;C23C14/35
申请日期：
2020-12-20
申请人：
松山湖材料实验室

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种简单实用的PVD镀膜电源模组
申请号	CN202023078423.5	申请日期	2020-12-20
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H02M9/06 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H02 发电、变电或配电 H02M 用于交流和交流之间、交流和直流之间、或直流和直流之间的转换以及用于与电源或类似的供电系统一起使用的设备；直流或交流输入功率至浪涌输出功率的转换；以及它们的控制或调节（专用于没有可动部件的电子时钟的电流或者电压的变换入G04G 19/02；调节电或磁变量的系统，例如用变压器、电抗器、或扼流圈及这种系统与静止变换器的组合，一般入G05F；用于数字计算机的入G06F 1/00；变压器入H01F；与类似的或其他供电电源联合运行的一个变换器的连接或控制入H02J；机电变换器入H02K 47/00；控制变压器、电抗器或扼流圈、电动机、发电机或机电变换器的控制调节入H02P；脉冲发生器入H03K）〔4，5〕 H02M9/00 直流或交流功率输入变换为浪涌功率输出〔2〕 H02M9/06 带有交流功率输入的〔2〕	IPC分类号	H;0;2;M;9;/;0;6;;;H;0;2;M;3;/;3;3;5;;;H;0;2;M;3;/;0;4;;;H;0;2;M;3;/;1;5;7;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人	松山湖材料实验室	申请人地址	广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	松山湖材料实验室	当前权利人	松山湖材料实验室
发明人	范鹏;田修波;欧科军
代理机构	深圳市千纳专利代理有限公司	代理人	陈培琼

摘要

本实用新型公开一种简单实用的PVD镀膜电源模组，能够精准控制输出功率，能够在负脉冲的上升沿提供一个正脉冲，正脉冲的大小和宽度可调。本实用新型的三相整流及滤波电路输出端连接移相逆变全桥电路，移相逆变全桥电路经过高频变压器后接到单相整流电路，单相整流电路依次经过滤波电路、斩波电路后连接反极性电路；斩波电路与保护电路相连接，保护电路输出端连接控制电路，反极性电路输出端连接真空镀膜负载。本实用新型有效解决了大功率高密度磁控溅射电源控制精度低的问题，降低了真空室打火的概率、抑制了弧靶中毒和阳极消失问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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