一种制造氢化纳米晶硅薄膜太阳能电池的系统和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201510594371.1
IPC分类号：H01L31/18;H01L31/0445
申请日期：
2015-09-17
申请人：
浙江师范大学

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著录项信息

专利名称	一种制造氢化纳米晶硅薄膜太阳能电池的系统和方法
申请号	CN201510594371.1	申请日期	2015-09-17
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2015-12-16	公开/公告号	CN105161573A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;3;1;/;0;4;4;5查看分类表>
申请人	浙江师范大学	申请人地址	浙江省湖州市南浔区南浔镇朝阳路666号南浔科技创业园一层1020室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	湖州优研知识产权服务有限公司	当前权利人	湖州优研知识产权服务有限公司
发明人	何绿;张若云;陈莉萍;刘剑;黄仕华
代理机构	北京轻创知识产权代理有限公司	代理人	乐珠秀

摘要

本发明涉及一种制造氢化纳米晶硅薄膜太阳能电池的方法，通过准备室、本征室、P室、N室、机械泵A、机械泵B、分子泵C、分子泵D、罗茨泵E和罗茨泵F，经过准备预热步骤、准备室预溅射步骤、生长P型氢化纳米晶硅薄膜步骤、生长本征氢化纳米晶硅薄膜步骤和生长n型氢化纳米晶硅薄膜步骤，通过改变PECVD的真空系统以及工艺方法实现低成本氢化纳米晶硅薄膜太阳能电池的生长。将PECVD的真空系统改为由分子泵罗茨泵机械泵蝶阀构成。罗茨泵转数介于分子泵与机械泵之间，与普通蝶阀即可将气压精确维持在200Pa上，构成纳米晶硅薄膜生长所需的气压调节系统。

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