一种槽盖装置和槽式清洗设备

发明专利有效专利

申请号：
CN202110436698.1
IPC分类号：B08B3/08;B08B13/00;H01L21/67
申请日期：
2021-04-22
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司

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著录项信息

专利名称	一种槽盖装置和槽式清洗设备
申请号	CN202110436698.1	申请日期	2021-04-22
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-20	公开/公告号	CN113275307A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B3/08 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B3/00 使用液体或蒸气的清洁方法（B08B 9/00优先） B08B3/04 与液体接触的清洁 B08B3/08 具有化学作用或溶解作用的液体（使用的物质，参见有关的类）	IPC分类号	B;0;8;B;3;/;0;8;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	北京北方华创微电子装备有限公司	申请人地址	北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	胡睿凡
代理机构	北京思创毕升专利事务所	代理人	孙向民;廉莉莉

摘要

本发明公开了一种槽盖装置和槽式清洗设备，其中所述槽盖装置包括：槽盖板、固定架和可伸缩机构；固定架设置于清洗槽的槽壁外部，可伸缩机构设于固定架上；槽盖板设置于清洗槽上方，槽盖板的一端固定设有连杆组件，连杆组件分别与固定架和可伸缩机构的伸缩端铰接，可伸缩机构用于驱动连杆组件进行转动，以使槽盖板进行翻转打开或关闭清洗槽的槽口。本发明能够提高槽盖装置的装配灵活性，提高槽盖装置与清洗槽的密封性。

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