一种蒸发镀膜装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201820903834.7
IPC分类号：C23C14/24;C23C14/54
申请日期：
2018-06-11
申请人：
北京铂阳顶荣光伏科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种蒸发镀膜装置
申请号	CN201820903834.7	申请日期	2018-06-11
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/24 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/24 真空蒸发〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;C;2;3;C;1;4;/;5;4查看分类表>
申请人	北京铂阳顶荣光伏科技有限公司	申请人地址	广东省深圳市海深港合作区前湾一路1号A栋201室(入驻深圳市前海商务秘书有限公司) 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	鸿翌科技有限公司	当前权利人	鸿翌科技有限公司
发明人	陈腾;王雪戈
代理机构	北京三高永信知识产权代理有限责任公司	代理人	邢惠童

摘要

本实用新型公开了一种蒸发镀膜装置，属于真空蒸镀领域。该蒸发镀膜装置包括：腔体、设置在腔体内的加热器，腔体的顶壁上设置有多个出气孔。此外，该蒸发镀膜装置还包括：与出气孔连通的排气件，排气件沿待蒸镀物体的长度方向均匀设置有多个与待蒸镀物体相对的蒸镀孔。设置在排气件上的多个调节件，该调节件用于调节蒸镀孔的开度。本实用新型提供的蒸发镀膜装置，在节约成本的同时，可以不断调整蒸镀孔的开度，进而调整每个蒸镀孔的蒸汽排量，使待蒸镀物体表面的膜层厚度保持一致，即，使喷射至待蒸镀物体表面的蒸汽更加均匀。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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