玻璃抛光组合物及方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200780038453.1
IPC分类号：C09K3/14
申请日期：
2007-10-16
申请人：
卡伯特微电子公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	玻璃抛光组合物及方法
申请号	CN200780038453.1	申请日期	2007-10-16
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2009-09-09	公开/公告号	CN101528882
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C09K3/14 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用 C09K 不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用 C09K3/00 不包含在其他类目中的材料〔2〕 C09K3/14 防滑材料；研磨材料（含高分子物质的磨料或摩擦体或者成型磨料的制造入C08J 5/14）〔4〕	IPC分类号	C;0;9;K;3;/;1;4查看分类表>
申请人	卡伯特微电子公司	申请人地址	美国伊利诺伊州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	卡伯特微电子公司	当前权利人	卡伯特微电子公司
发明人	内文·纳吉布;凯文·莫根伯格
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	宋莉

摘要

本发明提供适用于在约110g/cm2或更小的下压力下抛光玻璃基板的玻璃抛光组合物及方法。一种优选的抛光组合物包含悬浮于含有聚合物稳定剂及任选的水溶性无机盐的含水载体中的颗粒状二氧化铈研磨剂，其中，所述聚合物稳定剂的量例如为约50至约1500ppm，所述颗粒状二氧化铈研磨剂的量例如为约1至约15重量％。优选地，该颗粒状二氧化铈研磨剂具有约0.35μm至约0.9μm的平均粒度。另一优选的组合物包含约1至约15重量％的悬浮于含水载体中的颗粒状二氧化铈研磨剂，其中，所述颗粒状二氧化铈研磨剂的特征在于平均粒度为至少约0.2μm且CeO2的纯度为至少约99.9重量％，所述含水载体的pH值比该二氧化铈研磨剂的等电点(IEP)高或低至少约1个单位。

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