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紫外数字光刻系统

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201520079517.4
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2015-02-04
  • 申请人:
    四川云盾光电科技有限公司
著录项信息
专利名称紫外数字光刻系统
申请号CN201520079517.4申请日期2015-02-04
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人四川云盾光电科技有限公司申请人地址
四川省成都市双流县西南航空港经济开发区工业集中区三期 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人四川云盾光电科技有限公司当前权利人四川云盾光电科技有限公司
发明人姜世平;曹志明;胡玲;张宜文
代理机构四川力久律师事务所代理人林辉轮;王芸
摘要
本实用新型涉及光刻技术领域,具体涉及一种紫外数字光刻系统,包括高均匀性照明系统、图形发生系统、投影物镜系统以及精密工件台系统;所述高均匀性照明系统包括椭球镜、汞灯、空间滤波器、光束均匀器以及准直镜,所述椭球镜一端开口,所述汞灯设置在椭球镜的中央,所述汞灯射出的光束经所述椭球镜反射后从所述开口处射出。本实用新型具有曝光面积大,分辨力高,成像质量高,功能完善等优点。

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