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包括有均匀分布的硅纳米点的栅的存储器的制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200510071668.6
  • IPC分类号:H01L21/8239H01L21/28H01L21/336
  • 申请日期:
    2005-03-04
  • 申请人:
    三星电子株式会社
著录项信息
专利名称包括有均匀分布的硅纳米点的栅的存储器的制造方法
申请号CN200510071668.6申请日期2005-03-04
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2005-11-30公开/公告号CN1702852
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8239
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IPC结构图谱:
IPC分类号H01L21/8239;H01L21/28;H01L21/336查看分类表>
申请人三星电子株式会社申请人地址
韩国*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三星电子株式会社当前权利人三星电子株式会社
发明人柳寅儆;郑守桓;柳元壹
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人魏晓刚;李晓舒
摘要
本发明提供了一种制造存储器的方法,该存储器包括具有均匀分布的硅纳米点的栅。该方法包括:在衬底上形成栅,该栅具有绝缘薄膜,还具有在该绝缘薄膜中顺序叠放并且以预定距离彼此隔开的纳米点层和导电薄膜图案;在衬底中形成源区和漏区;以及分别在源区和漏区形成第一和第二金属层。

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