一种薄膜连续度的确定方法及确定薄膜连续度的系统

发明专利有效专利

申请号：
CN202110340326.9
IPC分类号：H01L21/66
申请日期：
2021-03-30
申请人：
长江存储科技有限责任公司

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著录项信息

专利名称	一种薄膜连续度的确定方法及确定薄膜连续度的系统
申请号	CN202110340326.9	申请日期	2021-03-30
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-07-09	公开/公告号	CN113097089A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/66 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/66 在制造或处理过程中的测试或测量〔2〕	IPC分类号	H01L21/66查看分类表>
申请人	长江存储科技有限责任公司	申请人地址	湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长江存储科技有限责任公司	当前权利人	长江存储科技有限责任公司
发明人	刘军;王莹飞;吴诗嫣;魏强民
代理机构	北京派特恩知识产权代理有限公司	代理人	刘恋;张颖玲

摘要

本申请实施例提供一种薄膜连续度的确定方法及确定薄膜连续度的系统，其中，所述方法包括：确定待测样品中的目标区域，其中，所述目标区域包括待测薄膜和覆盖于所述待测薄膜相对两侧的其他材料层；沿所述其他材料层和所述待测薄膜的堆叠方向，对所述目标区域进行能谱分析，以获取所述待测薄膜中的目标元素的电子能量损失谱；对所述电子能量损失谱进行图像处理，得到所述目标元素的信号强度分布直方图；通过所述信号强度分布直方图，确定所述待测薄膜的孔隙比；根据所述孔隙比确定所述待测薄膜的连续度。

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