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一种环形内沟槽结构馈源的制作方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201911233705.7
  • IPC分类号:H01Q13/02
  • 申请日期:
    2019-12-05
  • 申请人:
    中国电子科技集团公司第五十四研究所
著录项信息
专利名称一种环形内沟槽结构馈源的制作方法
申请号CN201911233705.7申请日期2019-12-05
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2020-03-24公开/公告号CN110911843A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01Q13/02IPC分类号H;0;1;Q;1;3;/;0;2查看分类表>
申请人中国电子科技集团公司第五十四研究所申请人地址
河北省石家庄市中山西路589号天伺部 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国电子科技集团公司第五十四研究所当前权利人中国电子科技集团公司第五十四研究所
发明人曹江涛;李东升;牛传峰;梁谦;李吉康;高扬;邢建勋;陈慧全;孙琪;赵均红
代理机构河北东尚律师事务所代理人王文庆
摘要
本发明涉及一种环形内沟槽结构馈源的制作方法,采用了分体制备,搭配热配装的解决了,环形内沟槽制作成本高,経度差的难题,本发明思路新颖,工艺成熟,易于实施,精度高,成本低,有效的实现了一种环形内沟槽结构馈源的制作,是对现有技术的一种重要改进。

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