基于相位控制模型的重叠测量系统及方法

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专利名称	基于相位控制模型的重叠测量系统及方法
申请号	CN201410387176.7	申请日期	2014-08-08
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2015-02-11	公开/公告号	CN104346808A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G06T7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G06 计算；推算；计数 G06T 一般的图像数据处理或产生〔6，2006.01〕 G06T7/00 图像分析〔6，2006.01，2017.01〕	IPC分类号	G;0;6;T;7;/;0;0;;;G;0;6;T;7;/;8;0查看分类表>
申请人	JSMSW技术有限责任公司	申请人地址	美国加利福尼亚变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	JSMSW技术有限责任公司	当前权利人	JSMSW技术有限责任公司
发明人	H·J·郑翁
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	罗银燕

摘要

本发明公开了一种基于相位控制模型的重叠测量系统及方法。其控制经散射的光分量与镜面反射光分量之间的相对相位以在检测之前放大微弱光学信号。甚至在存在图案间干涉的情况下，该系统及方法也利用基于模型的回归图像处理来准确地确定重叠误差。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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