一种大行程、高精度的微动台

发明专利无效专利

申请号：
CN201210340082.5
IPC分类号：G05D3/00
申请日期：
2012-09-14
申请人：
袁庆丹

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种大行程、高精度的微动台
申请号	CN201210340082.5	申请日期	2012-09-14
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2012-12-19	公开/公告号	CN102830711A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G05D3/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G05 控制；调节 G05D 非电变量的控制或调节系统（金属的连续铸造入B22D 11/16；阀门本身入F16K；非电变量的检测见G01各有关小类；电或磁变量的调节入G05F） G05D3/00 位置或方向的控制（G05D 1/00优先；用于数字控制的入G05B 19/18）	IPC分类号	G;0;5;D;3;/;0;0查看分类表>
申请人	袁庆丹	申请人地址	广东省佛山市禅城区江湾一路18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	袁庆丹	当前权利人	袁庆丹
发明人	袁庆丹
代理机构	佛山市永裕信专利代理有限公司	代理人	杨启成

摘要

一种大行程、高精度的微动台，其特征在于包括宏运动部分、微运动部分、微电脑控制装置，宏运动部分包括直线导轨、由精密滚珠丝杠机构带动的宏动台、光栅测量器，微运动部分包括设置在宏动台上的微动驱动机构、由微动驱动机构带动的工件固装置、激光干涉测量仪，光栅测量器的电信号输出、激光干涉测量仪的电信号输出分别与微电脑控制装置的电信号输入相连，微电脑控制装置的控制电信号输出分别与精密滚珠丝杠机构的控制电信号输入、微动驱动机构的控制电信号输入相连。本发明与已有技术相比，具备较大的驱动力和运动范围，高的分辨率和控制精度，能方便地实现微定位的优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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