一种监测等离子体过程中的放电的方法以及用于监测等离子体中的放电的监测设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201580007623.4
IPC分类号：H01J37/32
申请日期：
2015-02-06
申请人：
通快许廷格有限公司

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专利名称	一种监测等离子体过程中的放电的方法以及用于监测等离子体中的放电的监测设备
申请号	CN201580007623.4	申请日期	2015-02-06
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-12-21	公开/公告号	CN106256012A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	通快许廷格有限公司	申请人地址	波兰兹隆卡变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	通快许廷格有限公司	当前权利人	通快许廷格有限公司
发明人	A·吉拉托斯基;A·格拉博夫斯基;P·瓦赫;M·泽莱科斯基
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	张立达;王英

摘要

一种监测等离子体过程中的放电的方法，包括以下步骤：a.将周期性电源信号(71a)提供给等离子体过程；b.确定电源信号的第一时段内的第一时间间隔(Δt)内的第一电源信号波形；c.确定电源信号的第二时段内的第二时间间隔(Δt)内的第二电源信号波形(31，51)，其中，第二时间间隔(Δt)在第二时段中的位置与第一时间间隔(Δt)在第一时段内的位置相对应；d.将第二时间间隔的第二电源信号波形(31，51)与第一时间间隔的第一电源信号波形或参考信号波形(50，60)进行比较，并确定第一比较结果；e.如果第一比较结果与给定第一比较结果相对应，则对第二时间间隔(Δt)中的第二电源信号波形(31，51)、第一时间间隔(Δt)中的第一电源波形、或参考信号波形(50，60)中的一个信号波形进行时间偏移，并且将经时间偏移的信号与未进行时间偏移的信号波形中的一个信号波形进行比较，从而获得第二比较结果。

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