光硬化性聚硅氧烷组成物、保护膜及具有保护膜的元件

发明专利无效专利

申请号：
CN201310138283.1
IPC分类号：G03F7/075;G03F7/00
申请日期：
2013-04-19
申请人：
奇美实业股份有限公司

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著录项信息

专利名称	光硬化性聚硅氧烷组成物、保护膜及具有保护膜的元件
申请号	CN201310138283.1	申请日期	2013-04-19
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2013-10-30	公开/公告号	CN103376661A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/075 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/004 感光材料（G03F 7/12，G03F 7/14优先）〔5〕 G03F7/075 含硅的化合物〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;7;5;;;G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人	奇美实业股份有限公司	申请人地址	中国台湾台南市仁德区三甲里三甲子59-1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	奇美实业股份有限公司	当前权利人	奇美实业股份有限公司
发明人	吴明儒;施俊安
代理机构	北京林达刘知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	刘新宇;李茂家

摘要

本发明涉及光硬化性聚硅氧烷组成物、保护膜及具有保护膜的元件。一种光硬化性聚硅氧烷组成物，包含聚硅氧烷高分子(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)、吡啶衍生物(C)，及溶剂(D)；该吡啶衍生物(C)具有如式(II)所示的结构：在式(II)中，R1～R5中有1至3个为相同或不同的C1～C6羟烷基，其余为相同或不同且分别表示氢或C1～C6烷基，且由该光硬化性聚硅氧烷组成物所形成的保护膜具有良好的耐显影性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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