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带有过滤圆筒的升华管结构及升华装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201620728098.7
  • IPC分类号:B01D7/00
  • 申请日期:
    2016-07-12
  • 申请人:
    上海和辉光电有限公司
著录项信息
专利名称带有过滤圆筒的升华管结构及升华装置
申请号CN201620728098.7申请日期2016-07-12
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01D7/00IPC分类号B;0;1;D;7;/;0;0查看分类表>
申请人上海和辉光电有限公司申请人地址
上海市金山区九工路1568号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海和辉光电股份有限公司当前权利人上海和辉光电股份有限公司
发明人林艺东
代理机构上海申浩律师事务所代理人乐卫国
摘要
本实用新型公开了一种带有过滤圆筒的升华管结构及升华装置,升华管结构包括加热腔,在加热腔内设置有升华管,所述升华管的一端与一连杆的一端固定连接,连杆的另一端伸出所述加热腔。本实用新型通过控制连杆来控制升华管转动,使得被灰分覆盖的材料能露出表面,提高升华速率。

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